氣體名稱

化學式

偵測範圍

警報
設定點

偵測原理

比重

最低易
爆極限

乙酸

Acetic Acid

CH3COOH

0-30ppm

10ppm

電化學式

2.07

4

氨(阿摩尼亞)

Ammonia

NH3

0-75ppm

25ppm

電化學式

0.6

15

五氯化銻

Antimony

Pentachloride

SbCl5

0-15ppm

5ppm

電化學式

10.2

---

五氯化砷

Arsenic

Pentachloride

AsF5

0-9ppm

3ppm

電化學式

2.38

---

胂

Arsine

AsH3

0-0.3ppm

0.05ppm

電化學式

2.7

405

三氯化硼

Boron

Trichloride

BCl3

0-15ppm

5ppm

電化學式

4.07

---

三氟化硼

Boron

Trifluoride

BF3

0-9ppm

0-9ppm

電化學式

2.38

---

溴

Bromine

Br2

0-1ppm

0.1ppm

電化學式

5.5

---

一氧化碳

Carbon

Monoxide

CO

0-150ppm

25ppm

電化學式

0.968

12.5

四氯化碳

Carbon Tetrachloride

CCl4

0-30ppm

5ppm

電化學式

5.32

---

氯

Chlorine

Cl2

0-3ppm

1ppm

電化學式

2.49

---

三氟化氯

Chlorine Trifluoride

ClF3

0-1ppm

0.1ppm

電化學式

3.2

---

乙硼烷

Diborane

B2H6

0-0.3ppm

0.1ppm

電化學式

0.96

0.8

氟

Flourine

F2

0-3ppm

1ppm

電化學式

1.312

---

聯氨

Hydrazine

N2H4

0-10ppm

0.1ppm

電化學式

1.011

1.8

氫

Hydrogen

H2

0-2000ppm

---

電化學式

0.07

1.8

溴化氫

Hydrogen Bromide

HBr

0-9ppm

3ppm

電化學式

2.812

---

氯化氫

Hydrogen Chloride

HCL

0-15ppm

5ppm

電化學式

1.27

---

氫氰氫

Hydrogen

Cyanide

HCN

0-30ppm

10ppm

電化學式

0.941

5.6

氟化氫

Hydrogen Fluoride

HF

0-9ppm

3ppm

電化學式

0.7

---

硒化氫

Hydrogen Selenide

H2Se

0-0.2ppm

0.05ppm

電化學式

2.81

---

氫化硫

Hydrogen

Sulfide

H2S

0-30ppm

10ppm

電化學式

1.19

4.3

異丙醇

Isopropyl Alcohol(IPA)

CH3CH

OHCH3

0-2000ppm

400ppm

電化學式

2.07

2.0-2.5%

六氟化鈾

Molybdenum Fluoride

MoF6

0-9ppm

3ppm

電化學式

---

---

硝酸

Nitric Acid

HNO3

0-20ppm

2ppm

電化學式

3.2

---

一氧化二氮

Nitrogen Monoxide

NO

0-100ppm

25ppm

電化學式

1.53

---

二氧化氮

Nitrogen

Dioxide

NO2

0-15ppm

3ppm

電化學式

1.58

---

四氧化二氮

Nitrogen Tetraoxide

N2O4

0-15ppm

3ppm

電化學式

---

---

氧氣

Oxygen

O2

0-30%vol

---

電化學式

1.11

---

臭氧

Ozone

O3

0-1ppm

0.1ppm

電化學式

1.65

---

磷化氫(膦)

Phosphine

PH3

0-1ppm

0.3ppm

電化學式

1.18

---

氧氯化磷

Phosphorus

Oxychloride

POCl3

0-15ppm

5ppm

電化學式

5.3

---

五氟化磷

Phosphorus Pentafluoride

PF5

0-9ppm

3ppm

電化學式

4.46

---

三氯化磷

Phosphorus

Trichloride

PCl3

0-15ppm

5ppm

電化學式

4.77

---

矽甲烷

Silane

SiH4

0-15ppm

5ppm

電化學式

1.11

1.35%~

四氯化矽

Silicon Tetrachloride

SiCl4

0-15ppm

5ppm

電化學式

5.9

---

四氟化矽

Silicon Tetrafluoride

SiF4

0-9ppm

3ppm

電化學式

3.61

---

二氧化硫

Sulfur

Dioxide

SO2

0-10ppm

2ppm

電化學式

2.26

---

四氟化硫

Sulfur Tetrafluoride

SF4

0-9ppm

3ppm

電化學式

---

---

氟硫酸

Tantalum

Fluoride

TaF5

0-9ppm

3ppm

電化學式

---

---

四氯化錫

Tin Tetrachloride

SnCL4

0-15ppm

5ppm

電化學式

---

---

氟化鈦

Titanium

Fluoride

TiF4

0-9ppm

3ppm

電化學式

---

---

四氯化鈦

Titanium Tetrachloride

TiCL4

0-15ppm

5ppm

電化學式

6.6

---

三氯硅烷

Trichlorosilane

SiHCL3

0-15ppm

5ppm

電化學式

4.7

1.2

六氟化鎢

Tungsten Hexafluoride

WF6

0-9ppm

3ppm

電化學式

10.6

---

三甲硼

Trimethoxy

Boron(TMB)

B(OCH3)3

0-600ppm

200ppm

電化學式

---

---

三甲酯磷

Trimethyl

Phosphite(TMP)

P(OCH3)3

0-6ppm

2ppm

CEC

---

---

三甲磷

Trimethyl Phosphate(TMOP)

PO(OCH3)3

0-100ppm

---

CEC

---

---

四乙氧基甲硅烷

Tetraethoxy

Silame(TEOS)

Si(OC2H5)4

0-30ppm

10ppm

CEC

0.936

1.4-9.5%

二氟甲烷

Difluoro

Methane

CH2F2

0-3000ppm

1000ppm

CEC

1.8

12.7 - 14

六氟化硫

Sulfur Hexafluoride

SF6

0-3000ppm

1000ppm

CEC

5-6.602

---

三氟化氮

Nitrogen Trifuoride

NF3

0-30ppm

10ppm

CEC

2---

---

氧化亞氮

Nitrous Oxide

N2O

0-150ppm

50ppm

CEC

1.53

---

二氧化碳

Carbon

dioxide

CO2

0-15000ppm

5000ppm

CEC

1.5

---

碳氧二氯

Phosgen

COCL2

0-1ppm

0.1ppm

電化學式

3.4

---

甲醇乙基酮

Methyl Ethyl Ketone

CH3COC

H2CH3

0-600ppm

200ppm

電化學式

2.5

1.4

四氟化碳

carbon tetrafluoride

CF4

0-5000ppm

---

CEC

3.05

---

二氯二氟甲烷

Dichlorodifl

uoromethane

CCL2F2

0-3000ppm

1000ppm

CEC

4.2

---

氟環丁烷

Octafluoro

cyclobutane

C4F8

0-50ppm

---

CEC

7.33

---

三氟甲烷

Fluoroform

CHF3

0-2000ppm

---

CEC

2.417

---

※CEC (Combined Electro-chemical Cell)